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Celazole PBI

Celazole PBI(PolyBenzImidazole)I´Â ¿À´Ã³¯ °¡¿ëÇÑ ¸ðµç Çöó½ºÆ½ Áß °¡Àå ¶Ù¾î³­ ¼º´É(³»¿­¼º, ±â°èÀû Ư¼º µî)ÀÇ Çöó½ºÆ½À¸·Î, ´Ù¸¥ ÇÁ¶ó½ºÆ½À¸·Î ÇØ°áµÇÁö ¾Ê´Â ±ØÇÑÀÇ ¿ëµµ¿¡ »ç¿ëµÊ. ¹ÝµµÃ¼ ¿ìÁÖÇ×°øºÐ¾ß¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÊ. 200µµ¾¾ À̻󿡼­µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ±â°èÀû°­µµ ¹× ³»¸¶¸ð¼ºÀ» °¡Áü

 

   

   

 

Ư¼º

ÃÖ°íÀÇ »ç¿ë¿Âµµ (310µµ¾¾, ÀϽÃÀûÀ¸·Î 500µµ¾¾)

±¤¹üÀ§ÇÑ ¿Âµµ¿¡¼­ ¶Ù¾î³­ ±â°èÀû Ư¼º, °­µµ, ÈÚ³»¼ºÀ» °¡Áü

250µµ¾¾ ±îÁö ¸Å¿ì ³·Àº ¼±Çü¿­ÆØâ°è¼ö

¶Ù¾î³­ ³»¸¶¸ð ³»¸¶Âû Ư¼º

Ÿ°í³­ ³·Àº ³»È­¿°¼º

ÁÁÀº Àü±âÀý¿¬¼º, À¯ÀüƯ¼º(dielectric)

Áø°ø »óÅ¿¡¼­ ³·Àº ¾Æ¿ô°³½Ì(outgassing)

³ôÀº ÀÌ¿ÂûÁ¤µµ

°í¿¡³ÊÁö ¹æ»ç¼±¿¡ ´ëÇÑ ¶Ù¾î³­ ³»¼º

³»ÇöóÁ¼º(CF4, F, O2 Ar plasmas)


Celazole U-60 PBI ¾ÐÃà¸ôµå Á¦Ç°À¸·Î ÀÏ¹Ý »ê¾÷¿ë, È­ÇÐ, ¼®À¯È­ÇÐ, ¿ëÀ¶À¯¸®Á¦Á¶ µî

Celazole U-60SD´Â ¹ÝµµÃ¼¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ¼ø¼ö ±×·¹À̵å PBI

  - Oxide Etch Chamber Seals : Quartz ´ëü ¼ö¸í¿¬Àå

  - Oxide Etch Lifting Pins : Al pin ´ëü, ¿þÀÌÆÛ ÆÄ¼Õ ¿À¿° ÁÙÀÓ, ÇÉÆÄ¼Õ ÁÙÀÓ, ¼ö¸í¿¬Àå

  - Oxide Etch Chamber Parts : PI ´ëü, ¿À¿°À» ÁÙÀÌ¸ç ¼ö¸íÀ» 2¹è°¡·® ¿¬Àå

  - Interior Chamber Screws and Components

  - Focus Rings

  - Wafer Clamps

  - Sputtering Chamber Seals

  - Sputtering Chamber Clamps and Components  

Celazole T-Series´Â injection molding ȤÀº extrusion¿ëÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø PBI ºê·»µù ¿ø·áÀÓ

 

 

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